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DIN EN ISO 14644-14:2017 DE
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO 14644-14:2016); Deutsche Fassung EN ISO 14644-14:2016 (Foreign Standard)
Dieser Teil von ISO 14644 legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten, Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörige Reinraumbereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644 1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644 1 angegeben).*Diese Norm verbindet die Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration des Reinraums mit der Tauglichkeit von Geräten für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. In dieser Norm wird eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (zum Beispiel Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten, Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 festgelegt. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644 1 angegeben).
Deutsches Institut für Normung [din]