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DIN EN ISO 14644-14:2017

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016

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Deutsches Institut für Normung [din]

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DIN EN ISO 14644-15:2018

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017); German version EN ISO 14644-15:2017

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DIN EN ISO 14644-16:2020

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices (ISO 14644-16:2019); German version EN ISO 14644-16:2019

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DIN EN ISO 14644-17:2021

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications (ISO 14644-17:2021); German version EN ISO 14644-17:2021

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DIN EN ISO 14644-1:2016 DE

ReinrΣume und zugeh÷rige Reinraumbereiche - Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-1:2015); Deutsche Fassung EN ISO 14644-1:2015 (Foreign Standard)

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DIN EN ISO 14644-2:2016 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 2: Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ISO 14644-2:2015); Deutsche Fassung EN ISO 14644-2:2015 (Foreign Standard)

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DIN EN ISO 14644-3:2020 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 3: Prüfverfahren (ISO 14644-3:2019, korrigierte Fassung 2020-06); Deutsche Fassung EN ISO 14644-3:2019

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DIN EN ISO 14644-4:2023 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme (ISO 14644-4:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-4:2022

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DIN EN ISO 14644-5:2005 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 5: Betrieb (ISO 14644-5:2004); Deutsche Fassung EN ISO 14644-5:2004 (Foreign Standard)

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DIN EN ISO 14644-7:2005 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) (ISO 14644-7:2004); Deutsche Fassung EN ISO 14644-7:2004 (Foreign Standard)

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DIN EN ISO 14644-8:2022 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 8: Bewertung der chemischen Luftreinheit (ACC) (ISO 14644-8:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-8:2022

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DIN EN ISO 14644-9:2022 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 9: Bewertung der partikulären Oberflächenreinheit (ISO 14644-9:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2022

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DIN EN ISO 14644-10:2022 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflächenreinheit (ISO 14644-10:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2022

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DIN EN ISO 14644-13:2017 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen (ISO 14644-13:2017); Deutsche Fassung EN ISO 14644-13:2017 (Foreign Standard)

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DIN EN ISO 14644-14:2017 DE

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO 14644-14:2016); Deutsche Fassung EN ISO 14644-14:2016 (Foreign Standard)

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