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DIN EN ISO 25178-603:2011 DE
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (der phasenschiebenden interferometrischen Mikroskopie) (ISO/DIS 25178-603:2011); Deutsche Fassung prEN ISO 25178-603:2011 (Foreign Standard)
Dieser Teil von ISO 25178 ist eine Norm für die geometrische Produktspezifikation (GPS) und ist als eine allgemeine GPS Norm anzusehen (siehe ISO/TR 14638). Sie beeinflusst das Kettenglied 5 der Normenkette über die Oberflächenbeschaffenheit. Die gegenwärtige Norm beschreibt die metrologischen Eigenschaften von Messgeräten der phasenschiebenden interferometrischen (PSI) Mikroskopie zur Messung von Oberflächenprofilen und zur flächenhaften Messung der Oberflächenbeschaffenheit.
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Deutsches Institut für Normung [din]
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